半導(dǎo)體環(huán)境露點儀是用于測量半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境中氣體露點溫度的儀器。露點是指氣體中的水蒸氣在冷卻過程中開始凝結(jié)的溫度，它反映了氣體中水分的含量。在半導(dǎo)體制造過程中，對氣體中水分的含量有高的要求，因為水分的存在可能會影響半導(dǎo)體材料的性能和成品的質(zhì)量。因此，半導(dǎo)體環(huán)境露點儀在半導(dǎo)體生產(chǎn)中扮演著至關(guān)重要的角色。
1、高精度測量：
部分半導(dǎo)體環(huán)境露點儀采用先進的傳感器技術(shù)和測量方法，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的露點測量。例如，英國肖氏SHAW的SUPER-DEW3在線露點儀，其測量精度高達±2℃/±3.6°F DP。
密析爾的Pura Advanced Online 2高純氣體露點變送器在-60°Cdp時精度為±1°C。
2、快速響應(yīng)：
半導(dǎo)體制造過程中環(huán)境濕度的變化需要及時監(jiān)測和調(diào)整，因此露點儀的響應(yīng)速度至關(guān)重要。一些露點儀具備快速響應(yīng)的特點，能夠在短時間內(nèi)對濕度變化做出響應(yīng)，提供實時的露點數(shù)據(jù)。
3、穩(wěn)定性好：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，露點儀需要在長時間內(nèi)穩(wěn)定運行，以確保測量結(jié)果的準確性和可靠性。優(yōu)質(zhì)的半導(dǎo)體環(huán)境露點儀通常具有良好的穩(wěn)定性，能夠在不同環(huán)境條件下保持穩(wěn)定的性能。
4、易于操作和維護：
用戶友好的界面和簡潔的設(shè)計使得操作人員能夠輕松上手，快速掌握設(shè)備的使用方法。同時，一些露點儀的傳感器設(shè)計易于更換，降低了設(shè)備的維護成本。
